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HORIBA SEC-N100气体流量控制器
2018-6-7 20:28:08
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HORIBA SEC-N100气体质量流量控制器

HORIBA SEC-N100提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有气体质量流量控制器都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围,客户可选择最适合的类型。HORIBA可提供三种阀门,客户可选择热式阀门、电磁线圈阀门、或者压电陶瓷阀。同样HORIBA也可提供多种不同的通讯方式,包括模拟式、数字式、DeviceNet™ (*1), 以及PROFIBUS™(*2) (取决于产品型号)。HORIBA气体质量流量控制器的流量范围可覆盖微量流量直至超大流量。
*1 Devicenet是一种通讯方式的标志。
*2 PROFIBUS是一种国际化的通讯方式标志。

HORIBA SEC-N100质量流量控制器

HORIBA SEC-N100系列适用于多种不同的产业应用。HORIBA SEC-N100可实现大范围控制从10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多种不同通讯方式(数字式/模拟式, CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®),高精度(± 1.0% S.P. *包括SEC-N177R),快速响应。同时SEC-N100这款MFC支持多气体/多量程功能,有效减少客户成本。

HORIBA SEC-N100质量流量控制器特征
大范围控制,从微小流量至大量程,10SCCM~1000SLM
多种通讯方式及电源供给

HORIBA SEC-N100气体质量流量控制器
HORIBA气体质量流量控制器SEC-N100

型号

选择通讯方式 选择供电方式
SEC-N102 系列
数字式信号传输


▶RS485 F-NET协议 模拟式通讯 ▶0~5VDC
HORIBA可提供PE系列供应电源
SEC-N104 系列 DeviceNet™ 通讯 符合ODVA标准
SEC-N105 系列 CC-Link®通讯 模拟式通讯

▶0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA

符合  CC-Link®标准 24VDC(13 ~ 32VDC)

SEC-N106系列
PROFIBUS™ 通讯方式
符合PROFIBUS™ 标准 24VDC(13 to 32VDC)
模拟式通讯
▶0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA
SEC-N107系列 EtherCAT® 通讯方式 符合EtherCAT®标准 24VDC ± 4v

HORIBA SEC-N100气体质量流量控制器


SEC-N100 系列高精度
■高精度(设定点为基准)MFC的线性度将由近似多项式曲线进行补偿。这帮助实现了对所有流量控制范围的高精度控制。为了实际气体流量的准确性进一步提高,各种工艺气体的校准数据将按照HORIBA STEC标准的气体测量系统进行校验。

 

整个流量控制范围内都可实现高响应速度
■Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response最新的可变PID运算法则:1秒高速响应SEC-N100 系列搭载了最新开发的“可变PID系统”,对于所有设置点它可以实现1秒内的高响应速度。当您改变标定满量程和气体种类时,可变PID将根据当下的设定点不断变化,其PID参数也将随之被优化。              

多气体、多量程的解决方案
■专用的软件赋予用户可以自由更改规格的能力最新的多气体、多量程系统使用户自由变更气体种类和量程成为可能。

致力于成本考量,运用新的设计概念
作为N100系列的替代,HORIBA STEC也可以提供具备超洁净处理以及压电陶瓷阀门的Z500系列产品。请注意,在没有通知的情况下,可能会对某些需要提高生产率的部件和产品工艺做出修改,但不会牵涉到改变产品的规格。


HORIBA SEC-N100气体质量流量控制器选型表下载(pdf文档)

/upload/201806/07/201806072053025441.pdf


HORIBA SEC-N100气体质量流量控制器产品介绍:(英文版)

/upload/201806/07/201806072053511701.pdf


班奈公司现货供应HORIBA流量控制器SEC-N100,具体HORIBA流量控制器SEC-N100优惠价格请拨打电话咨询:138-1787-9697

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